1. Система откачки: масляная;
2. Объем камеры: V=100 л;
3. Материал подложек: стекло X18H10T;
4. Количество деталей : 32;
5. Рабочее давление: Р=2*10-3 Па;
6. Величина газового потока: Q?’=1,25*10-5 м3*Па/c;
7. Время достижения заданного давления: t=3600c.
Читать дальше
Определяем длительность вакуумной камеры высоковакуумным насосом
3,7+1,5=5,2 c
Определяем общее время откачки вакуумной системы от 105 Па до рзад
=735,9+1665,8+5,2 =2406,1с =40,1 [мин]
Читать дальше
1. Арцыбышев С.А. Физика - М.: Медгиз, 1950. - 511с.
2. Ландсберг Г.С. Оптика - М.: Наука, 1976. - 928с.
3. Сивухин Д.В. Общий курс физики : Оптика - М.: Наука, 1980. - 751с.
Читать дальше